X熒光光譜儀是一種較新型可以對多元素進行快速同時測定的儀器。在X射線激發下，被測元素原子的內層電子發生能級躍遷而發出次級X射線。波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。

　　X熒光光譜儀技術的主要特征為：
　　利用低能X光激發待測元素，對Si、S、Al、Na、Mg等輕元素有良好的激發效果，并且測試時間短，大大提高了檢測效率和工作效率：具有良好的能量線性和能量分辨率，及良好的能譜特性，較高的峰背比；
　　采用自動穩譜裝置，保證了儀器工作的一致性：
　　利用解譜技術使譜峰分解，使分析儀對Si、S、AI等輕元素的測試具有好的分析精度；采用多參數的線性回歸方法，使元素間的吸收、排斥效應得到明顯的降低。

　　使用壽命的技術：
　　（1）、光管自動老化功能；
　　（2）、自動跟進不同材質選擇不同的光管電流；
　　（3）、強大的散熱系統保證光管正常的工作條件；
　　模塊化的功能設計理念便于應對指令進行、檢測元素內容的升；*更為精巧的工藝，實現小體積樣品的檢測；
　　全光路射線防護系統配合三重安全防護設計，同時采用軟硬件雙重安全連鎖，保輻射安全性能。

　　X熒光光譜儀的測試步驟：
　　（1）選擇分析方法與制樣方法。分析方法一般有基本參數法、半基本參數法、經驗系數法等，制樣方法一般有拋光法、壓片法、濾紙片法和熔片法，常用粉末壓片法制樣，采用基本參數法測試。

　　（2）將制備好的樣片裝進樣品杯，放入樣品交換器中，自動進樣至樣品室，X射線管發出原級X射線照射樣品，激發出待測元素的熒光X射線。

　　（3）樣品輻射出的熒光X射線通過分光晶體，將X射線熒光光譜色散成孤立的單色分析線，由探測器測量各譜線的強度，根據選用的分析方法換算成元素濃度，得到樣品中待測元素含量。