微區X射線熒光光譜儀是X射線光管發出的初級X射線照射樣品，樣品中原子的內層電子被激發，當外層電子躍遷時產生特征X射線，通過分析樣品中不同元素產生的特征熒光X射線波長（或能量）和強度，可以獲得樣品中的元素組成與含量信息，達到定性定量分析的目的。

　　微區X射線熒光光譜儀特征譜線的產生則是基于不同的機理：
　　a）入射X射線轟擊原子的內層電子，如果能量大于它的吸收邊，該內層電子被驅逐出整個原子（整個原子處于高能態，即激發態）。

　　b）較高能級的電子躍遷，補充空穴，整個原子回到低能態，即基態。

　　c）由高能態轉化為低能態，釋放能量。ΔE=Eh-El

　　d)能量如果以X射線的形式釋放，則會產生X射線熒光。

　　特點：
　　分析的元素范圍廣，從4Be到92U均可測定；

　　熒光X射線譜線簡單，相互干擾少，樣品不必分離，分析方法比較簡便；

　　分析濃度范圍較寬,從常量到微量都可分析。重元素的檢測限可達ppm量級，輕元素稍差；

　　分析樣品不被破壞，分析快速，準確，便于自動化。

　　微區X射線熒光光譜儀的產品應用特點：
　　1、X射線熒光原理，無損、快速、準確的檢測和鑒定材料成分；

　　2、銅材、鋼材、鋁合金等1個數據庫全部搞定；

　　3、FlexFP新技術的應用，無標樣既能分析未樣品；

　　4、高分辨率探測器，能夠檢測到幾十ppm的元素含量；

　　5、固體、粉末、液體等樣品可直接測試；

　　6、幾十秒可得出穩定準確的測試數據；

　　7、測試過程簡單、輸出報告多種格式、查詢篩選統計功能齊全。