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薄膜厚度

更新時間:2021-02-01

產品品牌:Bruker

產品產地:德國

產品型號:薄膜厚度

產品描述:薄膜厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離,而實際上,薄膜的表面是不平整,不連續的,且薄膜內部存在著針孔、微裂紋、纖維絲、雜質、晶格缺陷和表面吸附分子等。

通常情況下,薄膜厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離,而實際上,薄膜的表面是不平整,不連續的,且薄膜內部存在著針孔、微裂紋、纖維絲、雜質、晶格缺陷和表面吸附分子等。因此薄膜的厚度大至可以分成三類:形狀厚度,質量厚度,物性厚度。形狀厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離;質量厚度指的是薄膜的質量除以薄膜的面積得的厚度,也可以是單位面積所具有的質量(g/cm2);物性厚度指的是根據薄膜材料的物理性質的測量,通過對應關系計算而得到的厚度。

探針式輪廓儀系統Dektak XTL產品特性

一、Bruker公司的雙攝像頭控制系統

1.通過點擊實時視頻更快鎖定到關注點
2.通過選擇實時視頻中的兩個點快速定位樣品(自動旋轉使連線水平)
3.通過在實時視頻中點擊掃描起始和結束位置簡化測量設置(教學)
二、自動化設置和操作
1.借助300毫米的自動化編碼XY工作臺以及360度旋轉能力,編程控制無限制測量位置。
2.利用帶圖形識別功能的Vision64位產品軟件減少使用中的定位偏差
3.將自定義用戶提示以及其它元數據編入您的方案中,并存儲到數據庫內
三、方便的分析和數據采集
1.快速分析儀支持大部分常用分析方法,可輕松實現分析程序自動化
2.通過臺階檢測功能將分析集中于復雜樣品上感興趣的特征
3.通過賦予每個測量點名稱并自動記錄到數據庫來簡化數據分析
4.Dektak在大樣品制造業中的傳奇性能


業界自動分析軟件

       新增軟件功能使Dektak XTL成為市面上易使用的探針式輪廓儀。系統使用的Vision64軟件,與Bruker公司的光學輪廓儀完全兼容。Vision64軟件可以進行樣品位置測量、3D繪圖以及借助數百個內置分析工具實現的高度定制表征方法。也可以使用Vision Microform軟件來測量曲率半徑等形狀。

探針式檢測技術
       圖形識別功能可以盡量減少操作員誤差并測量位置精度。在同一軟件包內,以直觀流程進行數據采集和2D、3D分析。每個系統都帶有Vision軟件許可證,可在裝有Windows7操作系統的個人電腦上安裝,用戶可在電腦桌面上創建數據分析和報告。

Dektak XTL擁有超過40年的探針經驗和軟件定制生產經驗,符合現在和未來的嚴格的行業發展藍圖。

          

探針式輪廓儀系統Dektak XTL應用

一、晶片應用:                                                          二、大型基板應用:          

沉積薄膜(金屬、有機物)的臺階高度                           印刷電路板(凸起、臺階高度)
抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度                                     窗口涂層
蝕刻速率測定                                                                 晶片掩模
化學機械拋光(腐蝕,凹陷,彎曲)                              晶片卡盤涂料
                                                                                      拋光板
三、玻璃基板及顯示器應用:                                        四、柔性電子器件薄膜:
AMOLED                                                                       有機光電探測器
液晶屏研發的臺階步級高度測量                                     印于薄膜和玻璃上的有機薄膜
觸控面板薄膜厚度測量                                                   觸摸屏銅跡線
太陽能涂層薄膜測量

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